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真空系统设计时为什么需要预抽泵?直接用前级泵有什么问题吗?

作者:缅甸小勐拉 | 日期:2018-10-19 | 评论:0 | 浏览:68

  一般是机械泵作为前级泵,分子泵作为主泵。大型真空设备一般都先用预抽泵(或者通过预抽管道)把系统线Pa左右,然后再启动主泵。我想知道,如果不用预抽泵或者预抽管道,而直...

  一般是机械泵作为前级泵,分子泵作为主泵。大型真空设备一般都先用预抽泵(或者通过预抽管道)把系统线Pa左右,然后再启动主泵。我想知道,如果不用预抽泵或者预抽管道,而直接用前级泵和分子泵串联,会有什么影响?除了抽速变慢之外。

  1.如果是扩散泵系统,系统和扩散泵腔不预抽的话,扩散泵一工作大量的气体与扩散泵油结合就会把扩散泵油氧化2.分子泵系统,不预抽的话,直接启动分子泵,由于形成的压力太高会把分子泵叶片损坏(由于分子泵的叶片高速运转并且材质为铝合金)

  真空泵系统的设计选型,一般单级泵如果能达到的抽速、真空度,就优先选单极的。但要更高的真空度和抽速,就需要增压泵。前级泵预抽,达到设定的真空度时启动二级、三级,甚至4级。我们是这样设计的。

相关热词: 分子泵抽真空原理

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